各有关单位：
根据工作需要，拟对全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会（SAC/TC203/SC4）的秘书处承担单位进行调整，现将其秘书处承担单位调整方案（见附表）公开征求各有关单位的意见和建议，各有关单位可进入全国专业标准化技术委员会信息公示系统发表意见和建议，征求意见时间截止到2026年11月11日（以意见和建议收到时间为准），逾期不予受理。
2026年10月12日
附表：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会调整秘书处承担单位调整方案
| 技术委员会编号 | 技术委员会名称 | 现秘书处承担单位 | 调整后秘书处承担单位 |
|---|---|---|---|
| SAC/TC203/SC4 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会 | 中国科学院微电子研究所 | 中国电子技术标准化研究院 |
| 调整原因 | |||
| 微光刻分委会近5年没有国标计划 ，缺乏对本领域的标准工作谋划。经TC203标委会主任委员办公会决议和全体委员审议，拟将微光刻分委会秘书处调整至中国电子技术标准化研究院。随后由电子标准院组织微光刻分委会的换届，规划标准工作路线，推动重点标准研制。 | |||